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除尘器  往复泵、油封机械泵不适于抽含有灰尘的气体。灰尘能污染油并且磨损泵腔内表面产生  漏气，使极限真空下降。防止灰尘的办法是装置除尘器。在真空冶金炉上常用的除尘器配置  方法如图3-13所示。图3-13(a)所示方案适用于始终都需要保护机械泵的真空装置中；图  3-13(b)所示方案适用于在冶炼过程中某一阶段要求对真空泵进行保护的情况；图3-13(c)  所示方案适用于连续、半连续生产的真空装置中  除尘器能保护机械泵，但严重地降低了泵的有效抽速，增加了设备投资，给维修运转带  来不便。

涡轮分子泵正常工作需要小于1Pa的前级压力。一般的机械泵可作为该泵的前级泵  中频电动机的启动由中频电源内的电子装置控制。在几分钟内使泵升至额定转速。中频电机  工作时通常以风扇或通水进行冷却  当泵进入正常转速后,为达到极限压力,应对被抽容器及泵体进行烘烤除气,泵体的除 

小型氨流程低温泵  氦流程低温泵的低温板,靠液氦汽化的低温气氦进行冷却,氦由外部的液氦贮  槽(或液氦装置)连续不断地自动调节流量供给低温板,它的优点是低温板可工作