分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵在使用过程中可能会出现一些故障问题，让操作人员束手无策。下面，和大家分享分子泵各种常见故障的维修方法。

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　　1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象?

　　原因：附近有光照或其他热源。

　　分子泵维修方法：避免光照或热源。

　　2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

　　原因：冷却不良，负载太大。

　　维修方法：检查冷却系统，检查真空系统。

　　3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?

　　原因：负载太大，系统真空度不够。

　　分子泵维修方法：检查系统。

　　4、分子泵轴承为什么会烧毁?

　　原因：①缺乏定期维护;②冷却不良导致过热;③没有及时换油;④抽除的气体中含有大量粉尘。

　　维修方法：①及时维护;②检查冷却系统;③及时换油;④隔离粉尘。

　　5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?

　　原因：防护网破裂，前级管道破裂。

　　维修方法：优化系统设计。

　　6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道?

　　原因：油池破裂或密封不良。

　　分子泵维修方法：检查油池。

　　7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?

　　原因：过热，负载大。

　　维修方法：检查冷却系，检查系统。

　　8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?

　　原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

　　维修方法：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。